一般情況下潔凈室工程技術參數主要有：

換氣次數：十萬級10－15次/小時；萬級15－25次/小時；千級50－52次/小時;

百級操作臺斷面風速：0.25-0.35m/s。

壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa。

溫度:冬季＞16℃±2℃；夏季＜26℃±2℃；

相對濕度：45－65％（RH）；噪聲≤65dB（A）；新風補充量：總送風量的20％－30％；

照度：≥300Lux。

下面介紹一下潔凈室工程的基本參數和特殊參數：

一、基本參數

1、潔凈度

潔凈度是潔凈室的重要基本的技術指標。其單位是：單位體積的空氣中粒徑不小于某一尺度的微粒個數。尤其是微電子行業對于潔凈室的要求較高。

2、微生物濃度

微生物濃度是潔凈室的另一項重要技術指標。其單位是：單位體積的空氣中微生物個數。生物工程行業對于微生物濃度的要求較高，其次是醫療、制藥、食品、飲料、化妝品等行業。空氣中的微生物是空氣微粒的一部分，確切的說是危害較大的一部分。通常測定的是空氣中細菌的濃度。

3、溫度

溫度是基本的工作條件，幾乎所有的潔凈室對于溫度都有明確的要求。溫度會影響植體的尺度，從而影響加工的度，從而影響加工的度，所以精密加工對于溫度有相當嚴格的要求。溫度會影響儀器的參數，從而產生測定誤差，所以精密測量儀器對于溫度的要求也較高。

4、濕度

濕度也是基本的工作條件，幾乎所有的潔凈室對于濕度都有明確的要求。濕度過大會使許多物質發生化學反應，從而影響產品質量，甚至使設備失效，產品報廢。濕度過低又會使許多物質脫水變形，失去原有的功能。

5、風速與風量

足夠的風速與風量是潔凈度的保證，過大的風速與風量不僅浪費能量，而且有時會影響正常的工作。

6、氣壓與壓差

正常的氣壓是正常工作的基本條件。必要的壓差是控制漏氣方向的手段。微電子行業的潔凈室為了保證潔凈度，不允許低潔凈度的空氣向高潔凈度區域泄露。病毒實驗室或傳染病房不允許室內空氣向室外泄露。

7、噪聲

過大的噪聲不僅會影響正常的工作，而且會影響人員的身體健康，降低噪聲是潔凈度的一項基本要求。

8、照度

適當的照度是正常工作的必要條件。

二、特殊參數

1、振動

振動會影響儀器設備的穩定性，從而影響儀器的準確度，還會影響設備的加工度，所以有些潔凈室需要控制振動。

2、靜電

靜電有許多危害，特別容易損壞微電子元件，所以微電子行業采取相應的防護措施，預防靜電的產生或者使產生的靜電能夠及時泄漏，以減少靜電對電子行業所造成的損失。

3、有害氣體濃度

有害氣體的種類繁多，有的會損害人體健康，有的會影響產品質量和產品合格率，所以潔凈度需要控制有害氣體濃度。

4、輻射強度

X射線、Y射線、電磁波等輻射對人體有較大的的損害，有時對生產設備或產品也有損害。