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無塵室空氣流組織的一般要求有哪些?

來源:無錫一凈凈化設備有限公司作者:無錫一凈網址:瀏覽數:1840 

無塵室是控制空氣懸浮微粒濃度,最主要作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,對無塵室空氣流組織的一般要求如下:

1.送入的潔凈氣流能盡快均勻分布或擴散到整個潔凈區,以沖淡室內污染源散發的塵和菌對空氣的污染,維持生產環境所要求的潔凈度。

2.能快捷地把污染源散發到無塵室的塵和菌從室內排走,避免或減少渦流和死角,縮短塵、菌在室內滯留時間,以減小與產品接觸的幾率。

3.兼顧室內溫、濕度均勻性等空調送風的要求及工作人員的舒適要求。

由于與一般空調房間的主要任務不同所以氣流組織的方案也必然有所差異。對于舒適性空調房間和普通溫、濕度精度的生產車間,考慮其空氣氣流組織方案的基點是采用盡可能大的送風溫差,以便減少送風量,使系統設備、管道都更小,初投資和運行費用更低。所以通常夏季采用機器露點送風。因為送入空氣與室溫溫差大,為避免室內生活區、工作溫度不均勻或 有吹冷風、吹熱風的不舒適感。無論是采用側送風口或是頂送散熱器,都要求其出風有較強的紊流系數,具有一定的引射能力,以利于吸收了室內熱濕負荷的空氣被卷吸及摻混到送風氣流中,使送風氣流的溫、濕度盡快地接近于室內設計溫、濕度。當送風氣流以回流的狀態進入生活區、工作區時,其溫、濕度從工藝要求來看,已進入控制精度范圍;從人的感受來說也是柔和可以接受的。



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